2024.06.06 半導体製造装置のセンサデータを用いた深層距離学習による類似事例検索に関する検討 斉藤 直輝, 藤後 廉, 前田 圭介, 小林 累輝, 中村 隆央, 岡谷 基弘, 数井 誠人, 松沢 貴仁, 小川 貴弘, 長谷山 美紀 第38回 人工知能学会全国大会 (JSAI2024)
